首页/ 昆山光微电子有限公司/ 专利详情

微型真空计

基本信息

申请号 CN201820515143.X 申请日 -
公开（公告）号 CN208206381U 公开（公告）日 2018-12-07
申请公布号 CN208206381U 申请公布日 2018-12-07
分类号 G01L21/00 分类 测量；测试;
发明人 魏德波;候影;刘瑞文;傅剑宇;吕文龙;王玮冰;陈大鹏 申请（专利权）人 昆山光微电子有限公司
代理机构 昆山中际国创知识产权代理有限公司 代理人 张文婷
地址 215300 江苏省苏州市昆山市周庄镇园区大道南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种微型真空计，包括底座、框架、绝缘基底、二极管、电阻、悬臂梁和电学连线，框架固定在底座四周，悬臂梁至少为两个，悬臂梁的一端与绝缘基底固定连接，悬臂梁的另一端固定于框架的上侧面上，至少两个悬臂梁将绝缘基底悬空固定于框架上；二极管和电阻设于绝缘基底上，电学连线将电阻和二极管电性连接并从悬臂梁上引出。本实用新型通过配置二极管数量、二极管的串并联方式、串联电阻大小、绝缘基底与底座之间的间隙实现对不同真空度的精确检测，具有配置灵活、灵敏度高、量程大的优点。此外，该真空计还具有结构及制作方法简单、与CMOS工艺兼容、加工误差容限大、成本低等优点。