薄膜晶体管的制备方法、阵列基板及液晶显示面板
基本信息
| 申请号 | CN201811344322.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109616419B | 公开（公告）日 | 2019-10-11 |
| 申请公布号 | CN109616419B | 申请公布日 | 2019-10-11 |
| 分类号 | H01L21/445;H01L21/34;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/786;G02F1/1362 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王帅毅 | 申请（专利权）人 | 中国银行股份有限公司双流分行 |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 地址 | 610200 四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种薄膜晶体管的制备方法、阵列基板及液晶显示面板。薄膜晶体管的制备方法包括以下步骤：在栅极层上形成β型聚偏氟乙烯的第一绝缘层；在所述β型聚偏氟乙烯的第一绝缘层上形成铟镓锌氧化物半导体层；在所述铟镓锌氧化物半导体层上形成源极和漏极；在所述源极和漏极上形成绝缘保护层。本发明能够提高器件的可靠性。 |
