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一种晶体生长电源参数的自适应调控方法及系统

基本信息

申请号 CN202210014118.4 申请日 -
公开（公告）号 CN114046669A 公开（公告）日 2022-02-15
申请公布号 CN114046669A 申请公布日 2022-02-15
分类号 F27D19/00（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分类 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
发明人 刘扬;卢卫国;许勇 申请（专利权）人 江苏东方四通科技股份有限公司
代理机构 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 代理人 吴筱娟
地址 215600江苏省苏州市张家港市杨舍镇张家港经济开发区（南区）
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶体生长电源参数的自适应调控方法及系统，所述方法包括：根据第一晶体生长电源，获得第一控制参数；获得第一粒径特征信息；将第一粒径特征信息和第一温度信息输入粒径变化趋势预测模型，获得第一粒径变化趋势信息；依据预设排序规则对所述趋势变化概率进行排序，获得第一排序结果；根据第一排序结果，获得第一粒径变化趋势；判断所述第一粒径变化趋势是否满足预设粒径变化趋势；若满足所述预设粒径变化趋势，控制所述第一晶体生长电源输出所述第一电压幅值、所述第一电流幅值、所述第一脉冲频率。解决了现有技术中存在未考虑到晶体本身状态变化及晶体炉内的温度差异性，导致灵活度较低，烧结失败的概率增加的技术问题。