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一种小粒径硅溶胶及其制备方法

基本信息

申请号	CN202010066229.0	申请日	-
公开（公告）号	CN111196605B	公开（公告）日	2021-10-15
申请公布号	CN111196605B	申请公布日	2021-10-15
分类号	C01B33/141（2006.01）I;C01B33/148（2006.01）I	分类	无机化学;
发明人	曹恒;张奶玲	申请（专利权）人	西安通鑫半导体辅料有限公司
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	孟大帅
地址	710300陕西省西安市西安经济开发区沣京工业园谭滨北路3号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种小粒径硅溶胶及其制备方法，包括以下步骤：配置获得质量百分比浓度为1％～10％的碱溶液；向获得的碱溶液中加入分散剂，获得溶液A并加热升温到40～80℃；将硅源粉碎成纳米级颗粒，通过酸洗去除金属和有机杂质，然后用去离子水清洗至PH为6.5～7.5，获得精制后的硅源并加入溶液A中；反应液中硅含量不变时为反应终点，过滤得到小粒径硅溶胶稀溶液并加入吸附剂，过滤去除硅溶胶溶液中的色素和分散剂，获得精制的硅溶胶稀溶液；其中，所述小粒径硅溶胶的粒径小于等于8纳米；将精制的硅溶胶稀溶液进行浓缩，浓缩终点为硅溶胶水溶液的固含量为25％～30％。本发明的方法能够制备粒径小于等于8纳米，固含量达到25％～30％的硅溶胶。