首页/ 西安通鑫半导体辅料有限公司/ 专利详情

一种直拉单晶用加热器

基本信息

申请号 CN201520860066.8 申请日 -
公开（公告）号 CN205115667U 公开（公告）日 2016-03-30
申请公布号 CN205115667U 申请公布日 2016-03-30
分类号 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 吴丹 申请（专利权）人 西安通鑫半导体辅料有限公司
代理机构 西安弘理专利事务所 代理人 罗笛
地址 710300 陕西省西安市户县沣京工业园潭滨北路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开的一种直拉单晶用加热器，包括加热器主体，加热器主体具有相对的第一端部和第二端部，加热器主体具有多个自第一端部向第二端部延伸的第一狭槽以及多个自第二端部向第一端部延伸的第二狭槽，多个第一狭槽与多个第二狭槽交替设置，相邻的两个第一狭槽之间形成一个发热单元，每个发热单元均包括多个相连接的加热段，至少一个加热段具有开口。本实用新型的一种直拉单晶用加热器在发热单元的加热段上具有开口结构，可根据产品品质需求进行相应调整，能形成适应高拉速、低杂质含量、低缺陷等各种需求的、优化的温度梯度，从而最终获得高品质的单晶硅。