一种超细β碳化硅及其制备方法

基本信息

申请号 CN201310393354.2 申请日 -
公开(公告)号 CN103466624B 公开(公告)日 2015-11-18
申请公布号 CN103466624B 申请公布日 2015-11-18
分类号 C01B31/36(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 李新家;贾明;马欢;曹恒 申请(专利权)人 西安通鑫半导体辅料有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 徐文权
地址 710300 陕西省西安市沣京工业园谭滨北路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种超细β碳化硅的制备方法,包括(1)混合样品;(2)高温反应;(3)煅烧除炭;(4)酸碱洗除杂四个步骤,其工艺步骤简单,操作方便,所制备的超细β碳化硅粒径为3μm左右,成本低、无α相碳化硅、杂质含量低、粒度分布均匀,β碳化硅含量在98%以上。制备出的超细β碳化硅可为电子、信息、精密加工技术、军工、航空航天、高级耐火材料、特种陶瓷材料、高级磨削材料和增强材料等领域提供优质的原料。