一种用于清洗晶片的花篮
基本信息
申请号 | CN201721930723.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN207909846U | 公开(公告)日 | 2018-09-25 |
申请公布号 | CN207909846U | 申请公布日 | 2018-09-25 |
分类号 | H01L21/673;H01L33/00 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 米洪龙;王琳;李小兵;梁建;关永莉 | 申请(专利权)人 | 山西飞虹激光科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 041603 山西省临汾市洪洞县甘亭镇工业园区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种用于清洗晶片的花篮,包括:第一侧板1和第二侧板2;其中,所述第一侧板1内侧的两端上分别设置有至少一个滑槽3,所述第二侧板2内侧的两端上分别设置有与滑槽3相对应的滑块4;所述第二侧板2上的各个滑块4分别插入到所述第一侧板1相应的各个滑槽3中,形成具有内部空间的花篮,滑块4可在滑槽3中滑动,以调节所述内部空间的大小;进一步包括:将滑块4与滑槽3的滑动位置固定的固定件;所述第一侧板1和所述第二侧板2上均设置有若干个开槽5。本方案中,实现了对花篮尺寸的可调,降低了生产成本。 |
