一种用于清洗晶片的花篮及对晶片进行清洗的方法
基本信息
| 申请号 | CN201711497924.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108063109A | 公开（公告）日 | 2018-05-22 |
| 申请公布号 | CN108063109A | 申请公布日 | 2018-05-22 |
| 分类号 | H01L21/673;H01L21/02;H01L33/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 米洪龙;王琳;李小兵;梁建;关永莉 | 申请（专利权）人 | 山西飞虹激光科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 041603 山西省临汾市洪洞县甘亭镇工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于清洗晶片的花篮及对晶片进行清洗的方法，包括：第一侧板1和第二侧板2；其中，所述第一侧板1内侧的两端上分别设置有至少一个滑槽3，所述第二侧板2内侧的两端上分别设置有与滑槽3相对应的滑块4；所述第二侧板2上的各个滑块4分别插入到所述第一侧板1相应的各个滑槽3中，形成具有内部空间的花篮，滑块4可在滑槽3中滑动，以调节所述内部空间的大小；进一步包括：将滑块4与滑槽3的滑动位置固定的固定件；所述第一侧板1和所述第二侧板2上均设置有若干个开槽5。本方案中，实现了对花篮尺寸的可调，降低了生产成本。 |
