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一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装

基本信息

申请号 CN202021526806.1 申请日 -
公开（公告）号 CN212713841U 公开（公告）日 2021-03-16
申请公布号 CN212713841U 申请公布日 2021-03-16
分类号 C30B15/04(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 郑伟扬;王思锋 申请（专利权）人 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
代理机构 江苏圣典律师事务所 代理人 徐芝强;肖明芳
地址 755099宁夏回族自治区中卫市中卫工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，包括聚四氟乙烯材质的漏斗，以及石英材质的导流管；所述漏斗的底部设有内螺纹，所述导流管的顶部设有外螺纹，漏斗与导流管通过内外螺纹可拆卸的连接。导流管的底部设有石英材质下口加强环；导流管靠近漏斗的端部设有聚四氟乙烯材质的保护环，保护环下方还设有石英材质的支撑台。该掺杂工装采用分体式结构设计，其上部为聚四氟乙烯漏斗，下部为石英导流管，两者采用螺纹连接可有效降低采购成本，且易于拆卸、组装及清洗。石英管损坏后仅更换下部石英管降低了使用成本。该工装选用材料均为高纯度材料可有效避免该工装对于多晶硅原料的污染。