一种自旋式热屏快速清理装置和使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202110307867.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113070298A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN113070298A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | B08B9/032（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郑伟扬;王思锋;周宇;李莎;焦岳卫 | 申请（专利权）人 | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 江苏圣典律师事务所 | 代理人 | 肖明芳 |
| 地址 | 755099宁夏回族自治区中卫市中卫工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种自旋式热屏快速清理装置和使用方法，所述装置包括挂钩组件、第一腔体、第二腔体和第三腔体，挂钩组件贯穿第一腔体的一端面，与第一腔体转动连接；第一腔体的另一端面与第二腔体的一端面固定连接；第二腔体的另一端面与第三腔体的一端面固定连接；第二腔体包括氩气腔体、排气腔体和固定在氩气腔体和排气腔体间的隔板；氩气腔体的侧面固定连接有进气阀，排气腔体与第三腔体连通；隔板上固定连接有热敏开关控制阀，热敏开关控制阀固定连接有回旋式排气道；第三腔体内固定连接有涡轮式导气盘，第三腔体侧面开设有两个以上的排气孔。使用该装置能够将热屏内壁的硅粉清理干净，避免拉晶时硅粉掉落对于炉台成晶的影响。 |
