一种单晶炉炉底加热器

基本信息

申请号 CN202021521810.9 申请日 -
公开(公告)号 CN212713851U 公开(公告)日 2021-03-16
申请公布号 CN212713851U 申请公布日 2021-03-16
分类号 H05B3/03(2006.01)I;H05B3/64(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 郑伟扬;王思锋 申请(专利权)人 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
代理机构 江苏圣典律师事务所 代理人 徐芝强;肖明芳
地址 755099宁夏回族自治区中卫市中卫工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶炉炉底加热器,包括发热体、加热器脚板以及电极固定板;所述发热体为环形,其两侧与加热器脚板一体成型;所述加热器脚板为一对,分别位于发热体相对的两侧;所述电极固定板为一对,分别与发热体两侧的加热器脚板可拆卸地连接。该单晶炉炉底加热器通过电极固定板在加热器脚板上的远近安装,实现电极距可调,从而满足不同电极距炉型的使用需求;通过电极固定板与加热器脚板的可拆卸安装方式,实现电极固定板与发热区分离,部件损坏后可仅更换损坏部件降低石墨件成本;加热器的发热体整体为圆形设计,可满足主加与底加任意角度匹配安装。