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一种复合绝缘层及制备方法

基本信息

申请号 CN201510390880.2 申请日 -
公开（公告）号 CN104934514A 公开（公告）日 2015-09-23
申请公布号 CN104934514A 申请公布日 2015-09-23
分类号 H01L33/44(2010.01)I;F21Y101/02(2006.01)N 分类 基本电气元件;
发明人 王立彬;易汉平;张雪亮;张志刚;李宁宁 申请（专利权）人 广西清科紫荆科技开发有限公司
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 成金玉;孟卜娟
地址 545699 广西壮族自治区柳州市鹿寨县鹿寨镇飞鹿大道279号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种复合绝缘层及制备方法，包括：第一绝缘层、中间层和第二绝缘层；第一绝缘层和第二绝缘层起到分离P/N电极以及绝缘的作用，材料由氧化硅(SiO2)、氧化钛(TiOx)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铌(Nb2O5)、氮化硅(SiNx)、氧化铝(Al2O3)单层或多层化合物组成；中间层具有较高的反射率，反射P型阻挡层和N型电极层之间的光线，另外由于热膨胀系数的差异以及多层膜的效果，减少在形成过程中由于生长条件和应力的作用而形成的裂痕；中间层的材料为金属或是具有布拉格反射(DBR)结构的多层膜。本发明解决了现有技术中部分区域低反射率以及由绝缘层应力而产生裂痕的问题。