一种超大视野分布计算视觉检测方法及检测系统
基本信息
| 申请号 | CN202110139568.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112964722A | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN112964722A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/93 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周飞 | 申请（专利权）人 | 苏州百迈半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京风雅颂专利代理有限公司 | 代理人 | 李弘 |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号苏州纳米技术国家大学科技园E0904室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本说明书一个或多个实施例提供一种超大视野分布计算视觉检测方法及检测系统。所述检测方法包括：产品承载装置将待检测产品移动至图像采集装置的图像采集位置；图像采集装置对所述待检测产品进行点阵轨迹的高速拍摄，获得所述待检测产品的多张有序的待检测图像并发送给图像检测装置；其中，每张所述待检测图像包括所述待检测产品的至少部分图像；所述图像检测装置基于所述待检测图像进行缺陷检测，基于每张所述待检测图像获得所述待检测产品的部分缺陷检测结果，并基于全部的所述部分缺陷检测结果生成所述待检测产品的完整缺陷检测结果并发送给上位机；所述上位机基于所述完整缺陷检测结果进行展示。本实施例所述方法及系统可以实现晶圆的检测。 |
