PERC太阳能电池的镀膜方法、制备方法及PERC太阳能电池专利查询专利号|摘要-满商公司网

PERC太阳能电池的镀膜方法、制备方法及PERC太阳能电池

基本信息

申请号	CN201710994301.4	申请日	-
公开（公告）号	CN107731961B	公开（公告）日	2019-10-01
申请公布号	CN107731961B	申请公布日	2019-10-01
分类号	H01L31/18;H01L31/0216	分类	基本电气元件;
发明人	梁吉连;江坚;张剑锋;王仕鹏;黄海燕;陆川	申请（专利权）人	盐城正泰新能源科技有限公司
代理机构	北京元合联合知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	李非非
地址	224100 江苏省盐城市大丰区沪苏大丰产业联动集聚区凤阳路8号
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种PERC太阳能电池的镀膜方法，发生在PERC太阳能电池制备过程中对硅片进行制绒、扩散、刻蚀和去玻璃杂质之后、以及硅片背面局部开槽之前，该镀膜方法包括：在待镀膜的硅片的正面形成减反射膜以及在该硅片的背面形成叠层膜，该叠层膜包括钝化膜以及在该钝化膜上形成的保护膜；其中，在待镀膜的硅片的正面形成减反射膜的步骤包括：将待镀膜的硅片置于反应炉中对硅片的正面进行减反射膜的沉积操作；沉积操作结束后将硅片在反应炉中静置第一预定时长；静置结束后将硅片从反应炉中取出。相应地，本发明还提供了一种PERC太阳能电池的制备方法及PERC太阳能电池。本发明可以有效降低PERC太阳能电池的EL异常比例、提高PERC太阳能电池的效率以及良率。