蚀刻装置

基本信息

申请号 CN202021556816.X 申请日 -
公开(公告)号 CN212924808U 公开(公告)日 2021-04-09
申请公布号 CN212924808U 申请公布日 2021-04-09
分类号 C03C15/00 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 李婷;逯正旺;赵学军 申请(专利权)人 凯茂科技(深圳)有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 谢岳鹏
地址 518106 广东省深圳市光明新区公明街道合水口社区下朗工业区第21栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种蚀刻装置,包括:池体,池体上设置有第一反应槽;第一辅助装置,第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置,至少一部分的第一放置架置于第一反应槽中,第一驱动装置能够驱使第一放置架沿前后方向作往复运动,以及能够驱使第一放置架沿左右方向作往复运动,第一驱动装置还能够驱使第一放置架沿上下方向运动。本实用新型能够使得处理后的玻璃的厚薄均匀,厚度误差小,玻璃的不良率低。