晶圆处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202020655922.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212136392U | 公开（公告）日 | 2020-12-11 |
| 申请公布号 | CN212136392U | 申请公布日 | 2020-12-11 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐慧军;徐浩;徐成耀;张雅荣 | 申请（专利权）人 | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 地址 | 201821上海市嘉定区普惠路200号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 该实用新型涉及一种晶圆处理装置，包括腔体，用于放置晶圆；风机，所述风机的出风口与所述腔体的进风口连通；软管，设置于所述风机的出风口与所述腔体的进风口之间，用于缓冲所述风机的震动对所述腔体的影响。该装置可以减少晶圆处理工艺过程中震动，提升晶圆处理的质量。 |
