提高键合强度的退火方法
基本信息
| 申请号 | CN201611227760.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106601615B | 公开（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申请公布号 | CN106601615B | 申请公布日 | 2020-05-15 |
| 分类号 | H01L21/324 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 魏星;常永伟;陈猛;陈国兴;费璐;王曦 | 申请（专利权）人 | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 地址 | 201821 上海市嘉定区普惠路200号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种提高键合强度的退火方法，所述方法包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底具有一键合界面；第一退火步骤，所述第一退火步骤在含氧气氛中实施，本步骤在衬底表面形成氧化保护层；第二退火步骤，在第一退火步骤后实施，第二退火步骤温度高于第一退火步骤且在无氮环境中实施。 |
