水平载片装置
基本信息
| 申请号 | CN201920605248.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210092044U | 公开（公告）日 | 2020-02-18 |
| 申请公布号 | CN210092044U | 申请公布日 | 2020-02-18 |
| 分类号 | H01L21/673 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨桂凯;庄俞佳;李翔宇;徐慧军 | 申请（专利权）人 | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 地址 | 201821 上海市嘉定区普惠路200号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 该实用新型涉及一种水平载片装置，包括基座，所述基座设置有卡槽，所述卡槽用于放置待装载的晶圆，且当所述水平载片装置水平放置时，所述卡槽的底面与水平面之间具有一预设夹角。上述水平载片装置在基座上设置了倾斜的卡槽，在使用倾斜的卡槽来装载晶圆时，避免了由于晶圆晃动而产生的碰撞、导致的晶圆边缘损伤、粘片以及双片键合片的开缝问题。且由于晶圆在卡槽中的倾斜设置，片间间距相同，不同位置炉内的气流和温场分布较均匀，在对晶圆进行热处理时，热处理的效果更好。 |
