首页/ 上海新傲科技股份有限公司/ 专利详情

自动化处理设备

基本信息

申请号 CN201920799839.4 申请日 -
公开（公告）号 CN210575849U 公开（公告）日 2020-05-19
申请公布号 CN210575849U 申请公布日 2020-05-19
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 蒋杰 申请（专利权）人 上海新傲科技股份有限公司
代理机构 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 上海新傲科技股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定区普惠路200号
法律状态 -

摘要

摘要 该实用新型涉及一种自动化处理设备，包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；第一导轨，晶圆放置位安装至第一导轨，并能够沿第一导轨的长度方向运动；药液槽，设置于第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当晶圆放置位运动至第一端时，晶圆放置位浸入药液槽内放置的药液中；药液泵，连通至药液槽，用于泵出药液槽内放置的药液；药液箱，放置有药液，连通至药液槽，用于给药液槽提供处理晶圆的药液。本实用新型中的自动化处理设备可以控制晶圆的浸泡时间，且具有连通至药液槽的药液泵，可以将药液槽内的药液抽出，以实现替换，还具有连通至药液槽的药液箱，可以通过药液箱往药液槽内填充药液，简单方便，在替换药液时无需人工，安全系数高。