功率器件及其制造方法

基本信息

申请号 CN201910374281.X 申请日 -
公开(公告)号 CN110212016A 公开(公告)日 2019-09-06
申请公布号 CN110212016A 申请公布日 2019-09-06
分类号 H01L29/06(2006.01)I; H01L21/336(2006.01)I; H01L29/78(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陈文高; 杨东林; 刘侠 申请(专利权)人 上海昱率科技有限公司
代理机构 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 上海昱率科技有限公司
地址 201306 上海市浦东新区南汇新城镇海洋一路333号1号楼、2号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本公开涉及一种功率器件,包括:衬底;第一外延层,设置于所述衬底上;第二外延层,设置于所述第一外延层上;多个第一体区,设置于所述第二外延层中;多个第二体区,设置于相应第一体区的下方;其中,所述多个第二体区从所述第二外延层向下延伸到所述第一外延层中,所述多个第二体区的底部位于所述第一外延层中。