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一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具

基本信息

申请号	CN202210274903.3	申请日	-
公开（公告）号	CN114351121B	公开（公告）日	2022-06-14
申请公布号	CN114351121B	申请公布日	2022-06-14
分类号	C23C16/458（2006.01）I;C23C16/515（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	毛昌海;祖全先;帅小锋	申请（专利权）人	艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司
代理机构	苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	-
地址	215331江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路28号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具，包括芯轴、套设且固定在芯轴上的第一定位板与第二定位板、设置于第一定位板上的若干定位筒以及固定在芯轴上的驱动盘，所述定位筒围绕芯轴轴芯设置，所述芯轴不带电；或者，当芯轴带电时，在芯轴上设隔绝件，所述隔绝件将芯轴的工作区完全遮蔽，所述隔绝件不带电。通过使芯轴不带电或者在芯轴带电时，在芯轴外套设不带电隔绝件，能够实现芯轴不再辉光放电，杆状工件的辉光放电区不再有重叠区域，则无法形成有效的空心阴极效应，在不改变杆状工件与芯轴距离的同时增加杆状工件的装夹密度，也能够保证通过脉冲辉光PECVD形成的涂层表面均匀、厚度一致，大大提高了生产效率，降低了生产成本。