一种四面体非晶碳复合涂层及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010390073.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111500982B | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN111500982B | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | C23C14/06（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 毛昌海;祖全先 | 申请（专利权）人 | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州华博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐典 |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种四面体非晶碳复合涂层，包括：底部结合层：为CNX薄膜；表面功能层：为高SP3碳杂化键含量的四面体非晶碳薄膜；在所述底部结合层下方设有合金基材，所述底部结合层上方设有表面功能层；其成本较低、工艺流程简单，显著提升了膜基结合强度，另外由于其具有比其他类金刚石薄膜更高的硬度，所以减磨耐磨效果更佳优良。 |
