一种多层结构涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210217742.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114293154B | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114293154B | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 毛昌海;祖全先;帅小锋 | 申请（专利权）人 | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215331江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种多层结构涂层的制备方法，该制备方法中提供了增加反应气体M的通入流量、以小电流模式开启第二组B靶材或控制靶材门的方案，解决了应用多弧离子镀膜方法沉积多层结构涂层时，膜层之间结合力较弱，容易发生膜层分离剥落的问题。 |
