一种耐腐蚀镀膜工艺及其制得的耐腐蚀镀膜涂层
基本信息
| 申请号 | CN202110445447.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113151826B | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN113151826B | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | C23C28/00（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 毛昌海;祖全先 | 申请（专利权）人 | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州华博知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种耐腐蚀镀膜工艺及其制备得到的耐腐蚀镀膜涂层，包括：对金属基体表面进行预处理；在金属基体表面依次第一沉积Cr结合层、第一Cr/WC过渡层、第一WC‑C：H过渡层，再采用PECVD技术在所述第一WC‑C：H过渡层表面沉积含氢DLC层；用辉光蚀刻工艺蚀刻所述含氢DLC层背离所述第一WC‑C：H过渡层的表面；在所述含氢DLC层背离所述第一WC‑C：H过渡层的表面依次沉积第二WC‑C：H过渡层、第二Cr/WC过渡层、表层，形成所述耐腐蚀镀膜。本发明通过采用含氢DLC层作为中间层，具有同时增加涂层的抗腐蚀能力和增强结合强度的优点。 |
