一种金属掩膜版的加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202111037978.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113737129A | 公开（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申请公布号 | CN113737129A | 申请公布日 | 2021-12-03 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I;C23F4/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钱超;杨柯;吴建 | 申请（专利权）人 | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董成 |
| 地址 | 213311江苏省常州市溧阳市埭头镇渡头街8-2号13幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出的一种金属掩膜版的加工方法，涉及蒸镀掩膜领域。该加工方法在金属片上分三步依次蚀刻加工出第一凹槽、两个第二凹槽和第三凹槽；控制第一凹槽的宽度为d1、深度为h1；控制第二凹槽的宽度为d2′、深度为h2，两个第二凹槽相远端的距离为d2；第三凹槽蚀刻至与两个第二凹槽上下贯通形成一个呈整体的贯通孔，该贯通孔中，以所述的第三凹槽的侧壁与第二凹槽的侧壁的交界处为分界，形成宽度为d2、深度为h2′的上部孔体和宽度为d3、深度为h3的下部孔体。利用本发明的加工方法，能够有效控制所述的上部孔体和下部孔体的尺寸精度和一致性，大幅度提高了金属掩膜版的产出良率和一致性。 |
