一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110677014.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113295093A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113295093A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | G01B11/00;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 钱超;杨柯;牛恩众;余强根 | 申请（专利权）人 | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人 | 徐冬涛 |
| 地址 | 213311 江苏省常州市溧阳市埭头镇渡头街8-2号13幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，本发明方法在拉伸前的掩膜版上设置激光标记点，通过实际点与理论点之间的距离来检测是否合格，可以在掩膜版用于蒸镀之前对掩膜版张网精确度进行检测，防止掩膜版投入使用后才发现张网不合格导致的蒸镀材料以及设备使用的能源浪费，而且本发明方法操作简单，检测效率高。 |
