掩膜版除尘除油设备
基本信息
| 申请号 | CN202011641183.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112871831A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112871831A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 钱超;杨柯;余强根;牛恩众 | 申请（专利权）人 | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 济南鼎信专利商标代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 梁国海 |
| 地址 | 213311江苏省常州市溧阳市埭头镇渡头街8-2号13幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了掩膜版除尘除油设备，包括清洗箱，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注水管，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注液管，所述注水管的顶部外壁开设有注水孔，所述注液管的顶部外壁开设有注液孔，所述注水管、注液管的外壁之间固定连接有导管，所述导管的数量为三个，所述注水管、注液管的底部外壁均固定连接有清洗装置。通过设置的注水管与注液管，让掩膜板在进行清洗时，能够持续不断的对掩膜板进行清洗，同时设置的导管连通注水管与注液管，让注入的水流与清洗液进行混合，再经由清洗装置处设置的喷头喷射出去，同时喷孔设置为三孔，让喷射出去的水流能够形成散射，使得清洗范围变广，清洗的效果更好、效率更高。 |
