具有微纳结构的全固态薄膜锂电池的制备方法

基本信息

申请号 CN201910066265.4 申请日 -
公开(公告)号 CN109818047B 公开(公告)日 2021-03-05
申请公布号 CN109818047B 申请公布日 2021-03-05
分类号 H01M10/0525(2010.01)I;H01M10/058(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李致朋;区定容 申请(专利权)人 深圳市致远动力科技有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 黄志云
地址 518000 广东省深圳市福田区华强北街道华航社区华富路1006号航都大厦1401C
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种全固态薄膜锂电池的制备方法,包括:在第一衬底的表面制备第二衬底;在所述第二衬底背离所述第一衬底的表面上方放置掩膜板,光刻蚀处理使所述第二衬底背离所述第一衬底的表面呈微纳结构;在所述第二衬底的微纳结构表面溅射沉积保护材料,制备第一保护层;在所述第一保护层的表面制备阴极集流体;在所述阴极集流体的表面溅射制备电池阴极;在所述电池阴极的表面制备电解质层;在所述电解质层的表面制备电池阳极;在所述电池阳极的表面制备阳极集流体,形成固态电池单元;在所述固态电池单元的表面制备第二保护层;将得到的样品置于能够溶解光刻胶的有机溶剂中,清洗处理去除光刻胶材料,得到整体呈微纳结构的全固态薄膜锂电池。