薄膜电池制备装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201910022823.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109609910B | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN109609910B | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李致朋;区定容 | 申请（专利权）人 | 深圳市致远动力科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李艳丽 |
| 地址 | 100089 北京市海淀区学院路35号世宁大厦14层1409 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种薄膜电池制备装置及方法，该装置包括薄膜沉积真空腔，用于在电池的衬底上沉积薄膜，薄膜沉积真空腔的数量至少为两个；真空连接腔，连接相邻两个薄膜沉积真空腔；真空阀，设于薄膜沉积真空腔和真空连接腔之间，用于控制薄膜沉积真空腔和真空连接腔的连通和关闭；传送机构，设于真空连接腔内，用于将电池从其中一个薄膜沉积真空腔内转移至相邻的薄膜沉积真空腔。本发明提供的薄膜电池制备装置，多个薄膜沉积真空腔通过真空阀及真空连接腔，并可通过传送机构将沉积后的衬底移送到相邻的薄膜沉积真空腔中，进行其他沉积，如此重复即可在不换靶材的情况下，保持电池生产的过程连续不断地进行，缩短电池的生产周期。 |
