阵列基板、阵列基板制备方法及显示面板
基本信息
申请号 | CN202110531297.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113270425A | 公开(公告)日 | 2021-08-17 |
申请公布号 | CN113270425A | 申请公布日 | 2021-08-17 |
分类号 | H01L27/12(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 邬可荣;郑在纹;袁海江 | 申请(专利权)人 | 长沙惠科光电有限公司 |
代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 晏波 |
地址 | 410300湖南省长沙市浏阳经济技术开发区康平路109号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种阵列基板、阵列基板制备方法及显示面板,阵列基板制备方法包括:在基板的第一表面的非开口区域沉积无机薄膜,其中,第一表面为基板中背向基底的表面,无机薄膜为无机薄膜或者氮化硅薄膜;在无机薄膜上形成像素定义层,并去除非开口区域中的过孔区域处的像素定义层;通过湿法刻蚀工艺蚀刻过孔区域处的无机薄膜,以使无机薄膜在像素定义层边缘发生侧向侵蚀现象;蒸镀有机发光二极管层;在蒸镀形成有机发光二极管层后,蒸镀阵列基板的阴极。本发明通过工艺将有机发光二极管的阴极与辅助电级接触,实现了辅助阴极,可以改善阴极电压分布不均,以提高显示面板亮度均一性。 |
