阵列基板、阵列基板制备方法及显示面板

基本信息

申请号 CN202110531297.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113270425A 公开(公告)日 2021-08-17
申请公布号 CN113270425A 申请公布日 2021-08-17
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 邬可荣;郑在纹;袁海江 申请(专利权)人 长沙惠科光电有限公司
代理机构 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 代理人 晏波
地址 410300湖南省长沙市浏阳经济技术开发区康平路109号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种阵列基板、阵列基板制备方法及显示面板,阵列基板制备方法包括:在基板的第一表面的非开口区域沉积无机薄膜,其中,第一表面为基板中背向基底的表面,无机薄膜为无机薄膜或者氮化硅薄膜;在无机薄膜上形成像素定义层,并去除非开口区域中的过孔区域处的像素定义层;通过湿法刻蚀工艺蚀刻过孔区域处的无机薄膜,以使无机薄膜在像素定义层边缘发生侧向侵蚀现象;蒸镀有机发光二极管层;在蒸镀形成有机发光二极管层后,蒸镀阵列基板的阴极。本发明通过工艺将有机发光二极管的阴极与辅助电级接触,实现了辅助阴极,可以改善阴极电压分布不均,以提高显示面板亮度均一性。