片上集成型体波谐振器及其制造方法

基本信息

申请号 CN201310555021.5 申请日 -
公开(公告)号 CN103560763B 公开(公告)日 2017-08-01
申请公布号 CN103560763B 申请公布日 2017-08-01
分类号 H03H9/15;H03H9/02;H03H3/02 分类 基本电子电路;
发明人 庞慰;江源;张代化;张浩 申请(专利权)人 天津滨海新区弘信博格融资租赁有限公司
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 代理人 章社杲;孙征
地址 300462 天津市滨海新区经济技术开发区新业五街27号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种片上集成型体波谐振器及其制造方法,其中,该体波谐振器包括:体波谐振器;至少一储能元件,其中,至少一储能元件的至少部分位于体波谐振器在垂直方向的投影区域范围内。本发明通过将储能元件集成到体波谐振器在垂直方向的投影区域范围内,从而有效缩小储能元件和体波谐振器的集成空间,利于进一步缩减体波滤波器芯片的尺寸。