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一种晶圆缺陷的多晶不良检测方法、装置

基本信息

申请号 CN202110427427.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112991332A 公开（公告）日 2021-06-18
申请公布号 CN112991332A 申请公布日 2021-06-18
分类号 G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06N3/04;G06N3/08;H01L21/66 分类 计算；推算；计数;
发明人 别晓辉;王开开;别伟成;单书畅 申请（专利权）人 视睿（杭州）信息科技有限公司
代理机构 杭州华知专利事务所（普通合伙） 代理人 张德宝
地址 310000 浙江省杭州市余杭区余杭街道文一西路1818-2号5幢313室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种晶圆缺陷的多晶不良检测方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：加载晶圆待检测图像；将所述晶圆待检测图像通过图像阈值分割方法，获得晶圆颗粒图像；对所述晶圆待检测图像进行阈值分割，获得多晶区域的位置；根据晶圆颗粒图像的目标框边界距离，判断所述晶圆颗粒图像是否为多晶不良颗粒；如果所述晶圆颗粒图像不为多晶不良颗粒，再次判断所述晶圆颗粒图像是否位于所述多晶区域的位置；如果所述晶圆颗粒图像位于所述多晶区域的位置，则所述晶圆颗粒图像为多晶不良颗粒。采用本方法能够提高多晶不良缺陷检测的准确率。