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一种太阳电池的硅片清洗制绒方法

基本信息

申请号 CN201210402361.X 申请日 -
公开（公告）号 CN102938431A 公开（公告）日 2013-02-20
申请公布号 CN102938431A 申请公布日 2013-02-20
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 彭铮;李媛媛;王巍;杨磊;李正平;沈文忠 申请（专利权）人 上海中智光纤通讯有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 代理人 上海中智光纤通讯有限公司;中智（泰兴）电力科技有限公司
地址 201108 上海市闵行区金都路4299号208室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种太阳电池的清洗制绒方法，包括：对硅片的预清洗、碱性溶液下去损伤层、表面氧化层刻蚀、干燥工序、预清洗、制绒形成金字塔绒面结构、清洗去除有机物、表面抛光圆滑绒面、清洗去除金属杂质、表面氧化层刻蚀、干燥工序。本发明的清洗制绒方法操作简单，成本低廉，适用于大面积太阳电池的批量生产；运用本发明的清洗制绒方法，可以使硅片表面清洗得更干净，同时形成的金字塔绒面的顶部带有一定的圆滑面，有利于解决在后续的等离子体沉积中由于尖端放电等不利因素导致的非晶硅薄膜沉积不均匀的问题。