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采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法

基本信息

申请号 CN201210042842.4 申请日 -
公开（公告）号 CN102593268B 公开（公告）日 2014-12-17
申请公布号 CN102593268B 申请公布日 2014-12-17
分类号 H01L31/20(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I;C23F1/24(2006.01)I;C23F1/32(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 华夏;李媛媛;彭铮;王巍;李正平;沈文忠;彭德香;温超 申请（专利权）人 上海中智光纤通讯有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所 代理人 上海中智光纤通讯有限公司;中智（泰兴）电力科技有限公司
地址 201108 上海市闵行区金都路4299号208室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法，包括：首先通过对高质量硅片在碱性环境下预清洗，经碱性腐蚀去锯齿后，进行表面金字塔结构化学制绒，再二次清洗之后使用RSS技术做绒面结构光滑圆整，之后在酸性环境下清洗，最后去氧化层腐蚀之后烘干干燥。本发明解决了由于等离子体尖端放电等不利因素导致的非晶硅薄膜沉积不均匀的问题，同时适用于大面积太阳电池生产，这为大规模生产高效HIT电池提供了重要参考，在光伏制造领域有着巨大意义。