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光谱仪氩气激发系统

基本信息

申请号 CN201410068117.3 申请日 -
公开（公告）号 CN103868892B 公开（公告）日 2016-09-14
申请公布号 CN103868892B 申请公布日 2016-09-14
分类号 G01N21/63(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 张乃州;赵珍阳;邱平;高国栋;李香宇;王世功;田中朝;许玉兴 申请（专利权）人 山东东仪光电仪器有限公司
代理机构 北京双收知识产权代理有限公司 代理人 烟台东方分析仪器有限公司;山东东仪光电仪器有限公司
地址 264003 山东省烟台市莱山区金都路10号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种光谱仪氩气激发系统，包括强吹气路、主气路、侧气路、公共气路、快门控制气路，上述各气路设置在光谱仪氩气激发系统的集成气路板上；所述强吹气路的气流入口为气源，气流出口为第一出气口；所述公共气路的气流入口为气源，并连接所述快门控制气路；所述主气路的气流入口在所述公共气路上，并设置有氩气表，气流出口为第一出气口；所述侧气路的气流入口在所述公共气路上，气流出口为第二出气口；所述快门控制气路的气流出口为第三出气口；上述各气路上分别至少设置有一个电磁阀。本发明使得光谱仪氩气激发系统能够改变压强、有不同气路设计且气密性良好，提高了氩气激发系统的精度。