一种用于准确定位激光诱导击穿光谱聚焦位置的装置

基本信息

申请号 CN201810819042.6 申请日 -
公开(公告)号 CN110749546A 公开(公告)日 2020-02-04
申请公布号 CN110749546A 申请公布日 2020-02-04
分类号 G01N21/01;G01N21/71 分类 测量;测试;
发明人 张殿凯;张勇;刘丽媛;张煦;王世功;史磊;田中朝;许玉兴;赵珍阳 申请(专利权)人 山东东仪光电仪器有限公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 国合通用测试评价认证股份公司;山东东仪光电仪器有限公司
地址 100000 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于准确定位激光诱导击穿光谱聚焦位置的装置,可用于激光诱导击穿光谱分析过程中的准确定位聚焦。该装置由负透镜、正透镜、反射镜、聚焦透镜和激光二级管指示灯组成,激光光束依次经负透镜、正透镜和反射镜,再经聚焦透镜聚焦后与样品相互作用产生等离子体,将激光二极管指示灯所形成的十字叉丝的中心位置与激光和样品相互作用的位置相重合,十字叉丝的中心位置即为激光烧蚀样品的位置。通过该装置可以精确控制激光与物质相互作用时聚焦状态,即光束聚焦斑点相对于样品的位置,使激光与物质能够更好的耦合,提高激光诱导击穿光谱定性及定量分析性能。