一种用于电感耦合等离子体发射光谱仪的分光色散装置

基本信息

申请号 CN201910862705.7 申请日 -
公开(公告)号 CN110530516A 公开(公告)日 2019-12-03
申请公布号 CN110530516A 申请公布日 2019-12-03
分类号 G01J3/02;G01J3/18;G01J3/28;G01J3/443;G01N21/73 分类 测量;测试;
发明人 张勇;赵珍阳;王世功;许玉兴;田中朝;张春梅;张丽玫 申请(专利权)人 山东东仪光电仪器有限公司
代理机构 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 曲姮
地址 264000 山东省烟台市高新区创新路28号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种用于电感耦合等离子体发射光谱仪的分光色散装置,按光路传播方向包括汇聚透镜、分光镜和光栅;所述分光镜为半反半透棱镜。所述光栅为两个,分别为平场光栅和平面光栅。光源发出的光信号经汇聚透镜聚焦后,通过半反半透棱镜将光分成两束,分别为透射光和反射光,其中透射光经过平场光栅色散分光,反射光经过平面光栅色散分光。