曝光机及基于光纤的均光光源
基本信息
申请号 | CN202023023314.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214011720U | 公开(公告)日 | 2021-08-20 |
申请公布号 | CN214011720U | 申请公布日 | 2021-08-20 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 马建立;王东;侯若洪 | 申请(专利权)人 | 深圳光韵达光电科技股份有限公司 |
代理机构 | 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孟学英 |
地址 | 518000广东省深圳市南山区高新区北区朗山路13号清华紫光科技园C座1层 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型的实施例公开一种曝光机及基于光纤的均光光源。所述均光光源包括激光器、输出光纤、矩形纤芯光纤和能调节靶面上的光斑大小的第一光学单元;所述激光器能将光输入至所述输出光纤的一端;所述输出光纤的另一端能将光输入至所述矩形纤芯光纤的一端;所述矩形纤芯光纤的另一端能将光输入至所述第一光学单元;所述第一光学单元能将光投射至所述靶面。所述曝光机包括所述均光光源。本实用新型的实施例能减少光损耗。 |
