曝光机及基于光纤的均光光源

基本信息

申请号 CN202023023314.3 申请日 -
公开(公告)号 CN214011720U 公开(公告)日 2021-08-20
申请公布号 CN214011720U 申请公布日 2021-08-20
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 马建立;王东;侯若洪 申请(专利权)人 深圳光韵达光电科技股份有限公司
代理机构 深圳新创友知识产权代理有限公司 代理人 孟学英
地址 518000广东省深圳市南山区高新区北区朗山路13号清华紫光科技园C座1层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型的实施例公开一种曝光机及基于光纤的均光光源。所述均光光源包括激光器、输出光纤、矩形纤芯光纤和能调节靶面上的光斑大小的第一光学单元;所述激光器能将光输入至所述输出光纤的一端;所述输出光纤的另一端能将光输入至所述矩形纤芯光纤的一端;所述矩形纤芯光纤的另一端能将光输入至所述第一光学单元;所述第一光学单元能将光投射至所述靶面。所述曝光机包括所述均光光源。本实用新型的实施例能减少光损耗。