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压电驱动阵列微喷及其加工方法

基本信息

申请号 CN200410074073.1 申请日 -
公开（公告）号 CN1586653A 公开（公告）日 2005-03-02
申请公布号 CN1586653A 申请公布日 2005-03-02
分类号 A61M11/00;A61M15/00;B81B7/00;B81C5/00 分类 医学或兽医学；卫生学;
发明人 周兆英;朱俊华;杜桂彬;张毓笠;史文勇 申请（专利权）人 北京博大微纳科技有限责任公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100084北京市100084－82信箱
法律状态 -

摘要

摘要 压电驱动阵列微喷及其加工方法，属于医疗器械技术领域。为了解决现有压电驱动阵列微喷加工复杂，价格昂贵的问题，本发明公开了一种压电驱动阵列微喷，包括设有阵列凹槽结构的喷孔膜，弹性腔膜和压电片，喷孔膜的阵列凹槽结构为蜂窝状，每个凹槽结构为六边形，每个凹槽结构的边壁为直壁。该微喷的阵列凹槽结构可提高喷孔膜的强度，凹槽结构的边壁为直壁，使得在喷孔膜上压力相对较大的区域能够布置更多的喷孔，提高了流量。本发明还公开了压电驱动阵列微喷的加工方法，特征在于所述加工方法包括压电驱动阵列微喷的喷孔膜的加工步骤，其采用UV－LIGA工艺，该工艺简单而且价格便宜，更加适用于批量生产。