首页/ 北京博大微纳科技有限责任公司/ 专利详情

一种优化的压电驱动微喷装置及其加工方法

基本信息

申请号 CN200410003470.X 申请日 -
公开（公告）号 CN1562398A 公开（公告）日 2005-01-12
申请公布号 CN1562398A 申请公布日 2005-01-12
分类号 A61M11/00 分类 医学或兽医学；卫生学;
发明人 周兆英;朱俊华;杜桂彬;冯焱颖;张毓笠;史文勇 申请（专利权）人 北京博大微纳科技有限责任公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100084北京市北京100084－82信箱
法律状态 -

摘要

摘要 一种优化的压电驱动微喷装置及其加工方法，属于医疗器械领域。为了解决现有压电驱动阵列微喷存在的喷孔外表面的水膜问题和在喷孔比较小的情况下，微喷流量比较小的问题，本发明提供了一种优化的压电驱动微喷装置，包括喷孔膜，弹性腔膜和压电片，压电片与弹性腔膜粘结在一起形成压电换能器，压电片上下表面镀有铝电极，极化方向为厚度方向，其特征在于：所述喷孔膜与弹性腔膜粘结形成封闭的液体腔，所述喷孔膜外表面上设有凹槽结构；所述喷孔膜上的喷孔布置在所述凹槽结构的底面。本发明还公开了喷孔膜加工方法，该方法采用感应耦合等离子刻蚀方法在硅片上加工微喷孔。本发明所述装置的液滴喷射分布均匀，有效避免了水膜问题，同时提高了流量。