压印模具的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201910018231.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111427233A | 公开（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申请公布号 | CN111427233A | 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 分类号 | G03F7/00 | 分类 | - |
| 发明人 | 谢自民;王亚平;平财明;林涛 | 申请（专利权）人 | 苏州蓝沛光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇城北开贵路11号3房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种压印模具的制作方法，包括如下步骤：1)制作母版结构，母版结构的表面形成有多个第一凹槽结构；2)基于母版结构制作转印模板，转印模板的表面形成有多个凸起结构；3)提供压印模具基板；4)于压印模具基板的表面形成压印模具柔性材料层；5)基于转印模板采用压印工艺于压印模具柔性材料层的表面形成多个第二凹槽结构；6)将压印模具柔性材料层固化；7)剥离转印模板。本发明的压印模具的制作方法可以提高母版结构的利用率，制备工艺简单，压印模具内的应力较小，不会存在爆裂的风险。 |
