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背照式图像传感器及其形成方法

基本信息

申请号 CN201410193019.2 申请日 -
公开（公告）号 CN103928487B 公开（公告）日 2016-11-16
申请公布号 CN103928487B 申请公布日 2016-11-16
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 赵立新;李文强;李杰;陈俭 申请（专利权）人 格科微电子（浙江）有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 吴圳添;骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区盛夏路560弄2号楼11F
法律状态 -

摘要

摘要 一种背照式图像传感器及其形成方法。其中，所述背照式图像传感器包括：半导体衬底，所述半导体衬底包括第一区域和至少一个第二区域；光电转换元件，位于所述第一区域中；浮置扩散区，部分位于一个所述第二区域中，且部分位于所述第一区域中，所述第二区域的上表面高于所述第一区域的上表面；转移晶体管，包括位于所述半导体衬底中的源极和漏极，所述源极和所述漏极分别与所述光电转换元件和所述浮置扩散区电连接；源跟随晶体管，包括位于所述半导体衬底上的栅极，所述栅极与所述浮置扩散区电连接；复位晶体管，包括位于所述半导体衬底中的漏极，所述漏极与所述浮置扩散区电连接。所述背照式图像传感器的性能提高，成本降低。