一种金属悬臂梁结构
基本信息
申请号 | CN201820437776.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208200365U | 公开(公告)日 | 2018-12-07 |
申请公布号 | CN208200365U | 申请公布日 | 2018-12-07 |
分类号 | B81B3/00 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
发明人 | 赵立新;蒋珂玮 | 申请(专利权)人 | 格科微电子(浙江)有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 314000 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道台升大道111号1幢2楼201室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提出一种金属悬臂梁结构,金属悬臂梁结构一端悬空的贴附于半导体基板的正面,所述半导体基板正面形成有金属线路层、金属接触点,金属悬臂梁结构与金属接触点电性连接;所述金属悬臂梁结构成形为凹凸结构。本实用新型中,金属悬臂梁结构的悬臂端对应于图像传感器芯片的背面,通过控制芯片驱动图像传感器芯片运动,实现光学防抖功能。 |
