一种金属悬臂梁结构

基本信息

申请号 CN201820437776.3 申请日 -
公开(公告)号 CN208200365U 公开(公告)日 2018-12-07
申请公布号 CN208200365U 申请公布日 2018-12-07
分类号 B81B3/00 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 赵立新;蒋珂玮 申请(专利权)人 格科微电子(浙江)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 314000 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道台升大道111号1幢2楼201室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出一种金属悬臂梁结构,金属悬臂梁结构一端悬空的贴附于半导体基板的正面,所述半导体基板正面形成有金属线路层、金属接触点,金属悬臂梁结构与金属接触点电性连接;所述金属悬臂梁结构成形为凹凸结构。本实用新型中,金属悬臂梁结构的悬臂端对应于图像传感器芯片的背面,通过控制芯片驱动图像传感器芯片运动,实现光学防抖功能。