带导热结构的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备
基本信息
申请号 | CN202010785106.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112039487B | 公开(公告)日 | 2021-08-10 |
申请公布号 | CN112039487B | 申请公布日 | 2021-08-10 |
分类号 | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 | 分类 | 基本电子电路; |
发明人 | 庞慰;班圣光;杨清瑞 | 申请(专利权)人 | 天津泰达海河智能制造产业发展基金合伙企业(有限合伙) |
代理机构 | 北京金诚同达律师事务所 | 代理人 | 汤雄军 |
地址 | 300462 天津市滨海新区开发区西区新业五街27号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法,该谐振器包括基底;声学镜;底电极;顶电极;和压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:所述底电极的至少一部分的外端处于所述声学镜的边界的外侧;在所述声学镜的边界的外侧,所述基底中沿所述声学镜设置有导热结构,所述导热结构适于与所述底电极的对应部分的下表面热接触。本发明还涉及一种滤波器和一种电子设备。 |
