带导热结构的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备

基本信息

申请号 CN202010785106.2 申请日 -
公开(公告)号 CN112039487B 公开(公告)日 2021-08-10
申请公布号 CN112039487B 申请公布日 2021-08-10
分类号 H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 分类 基本电子电路;
发明人 庞慰;班圣光;杨清瑞 申请(专利权)人 天津泰达海河智能制造产业发展基金合伙企业(有限合伙)
代理机构 北京金诚同达律师事务所 代理人 汤雄军
地址 300462 天津市滨海新区开发区西区新业五街27号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法,该谐振器包括基底;声学镜;底电极;顶电极;和压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:所述底电极的至少一部分的外端处于所述声学镜的边界的外侧;在所述声学镜的边界的外侧,所述基底中沿所述声学镜设置有导热结构,所述导热结构适于与所述底电极的对应部分的下表面热接触。本发明还涉及一种滤波器和一种电子设备。