一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备
基本信息
| 申请号 | CN202110791513.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113512699A | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN113512699A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | C23C14/22（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张平山;王宗阳;徐建孙;王友愉;唐其华;杨燃 | 申请（专利权）人 | 华闽南配集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京哌智科创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈康 |
| 地址 | 353000福建省南平市高新区长沙高新园（延平区西芹村） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备，其步骤具体如下：（1）、对活塞环的表面进行预处理；（2）、对活塞环进行预加热；（3）、对活塞环进行清洗刻蚀；（4）、对活塞环进行相应厚度的PVD处理：（5）、完成活塞环的PVD处理工艺；（6）、对活塞环进行涂层质量检查；该装置包含有密闭工作空间、设置在所述密闭工作空间内的抽真空组件、设置在所述密闭工作空间内的放置组件、设置在所述密闭工作空间内的PVD处理组件和实现组件上下移动的升降组件；实现对活塞环的智能化PVD处理，达到降低工作人员的工作强度和保证活塞环的涂层质量的目的。 |
