托盘及其金属有机化学气相沉积反应器
基本信息
| 申请号 | CN202020138314.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211445893U | 公开（公告）日 | 2020-09-08 |
| 申请公布号 | CN211445893U | 申请公布日 | 2020-09-08 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 胡建正;陈耀;姜勇;郭世平 | 申请（专利权）人 | 南昌中微半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司 |
| 地址 | 201201上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种托盘以及金属有机化学气相沉积反应器，托盘包括：托盘，可沿其中心轴转动，具有托盘面，设有若干个凹陷于托盘面的基片槽，每个基片槽内设置若干个支撑台，支撑台用于支撑待处理基片，支撑台的上表面与托盘面之间的高度差使得当待处理基片置于所述支撑台，待处理基片的上表面到支撑台对应的上表面有第一距离，托盘面到支撑台对应的上表面具有第二距离，第一距离减去第二距离的差值为：‑80微米～80微米。包含托盘的金属有机化学气相沉积反应器不仅能够防止待处理基片飞出，还能提高待处理基片表面气流和温度的一致性，从而提高待处理基片表面的外延层波长的均匀性，特别是能满足显示器的性能要求。 |
