一种薄膜生长系统以及基片托盘和载环组件
基本信息
| 申请号 | CN202023270443.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214313127U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214313127U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/34（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张辉;姜勇 | 申请（专利权）人 | 南昌中微半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址 | 201201上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种支撑基片的基片托盘，所述基片托盘包括侧壁和侧壁围绕而成的的加热腔，所述侧壁顶部包括盖板，所述顶盖用于向下辐射热量；所述顶盖下方的侧壁内侧包括多个互相分离的支撑腔，以及与每个支撑腔相邻的举升腔，所述举升腔底部向下延伸并穿过基片托盘侧壁底面，使得举升腔与基片托盘下方空间联通，所述支撑腔底部平面高于所述基片托盘底面。与相应的载环组件配合后能够使得基片从基片托盘底部取放，简化取放基片流程。 |
