一种可自动翻面的行星架样品台

基本信息

申请号 CN202021803087.3 申请日 -
公开(公告)号 CN212505051U 公开(公告)日 2021-02-09
申请公布号 CN212505051U 申请公布日 2021-02-09
分类号 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 金炯;姜琼;王丙利 申请(专利权)人 浙江赛威科光电科技有限公司
代理机构 北京沁优知识产权代理有限公司 代理人 林捷达
地址 313000浙江省湖州市德清县雷甸镇白云南路866号9号楼D101室
法律状态 -

摘要

摘要 一种可自动翻面的行星架样品台,包括支撑台和行星架,行星架上包括有多组支架以及多组翻转台,各组翻转台的一侧均与对应的支架转动连接,另一侧均设有传动组件,传动组件包括连接轴、翻面锥齿、主动锥齿以及从动锥齿,连接轴上套设有通过轴承转动连接的轴套,翻面锥齿固定连接在轴套上,翻转台包括外环和内环,内环上放置有膜片,翻面锥齿与第一驱动锥齿啮合,第一旋转电机驱动第一驱动锥齿转动以使外环在竖直面上翻转,内环的底面设有与从动锥齿啮合的齿盘,主动锥齿与第二驱动锥齿啮合,第二旋转电机驱动第二驱动锥齿转动以使内环上的膜片在水平面上转动;本实用新型优点在于:能自动将载有的膜片进行翻面使得膜片的双面能均匀对称的进行镀膜。