一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备
基本信息
| 申请号 | CN202110368849.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113201721A | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN113201721A | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/08;C23C16/54;C23C16/44;C23C16/40;B08B5/04 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李刚 | 申请（专利权）人 | 扬州万润光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京哌智科创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭佳 |
| 地址 | 225000 江苏省扬州市仪征经济开发区景秀路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，属于薄膜制备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定有真空室，所述真空室的一侧安装有真空泵，所述真空室内部的两侧皆固定有隔板，所述隔板上皆对称开设有通槽。本发明通过U型管、罩板、吸尘仓、负压风机、滤网组成的吸尘机构能够在装置镀镆之前进行除尘，避免灰尘影响镀镆的效果，且通过吸尘机构配合U型板以及除静电毛刷组成的静电消除机构，能够降低灰尘与薄膜之间的粘连效果，提高了除尘的效果，真空室内部第一横向压辊、第二横向压辊、第一纵向压辊、第二纵向压辊组成的薄膜翻转机构的设置，能够使得薄膜的正反面同时进行镀镆，确保了镀镆的效果。 |
