一种基于LICVD法的纳米材料生产设备
基本信息
申请号 | CN201910054033.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109692639B | 公开(公告)日 | 2021-07-27 |
申请公布号 | CN109692639B | 申请公布日 | 2021-07-27 |
分类号 | B01J19/12(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 曹燕红 | 申请(专利权)人 | 苏州邦得建筑科技有限责任公司 |
代理机构 | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 易敏 |
地址 | 215159 江苏省苏州市吴中区光福镇凤山路205号(苏州市天南电子有限公司1幢) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种基于LICVD法的纳米材料生产设备,包括反应室、控制器、供气机构、清洁机构、捕集器和照射机构,清洁机构包括惰气室、加热盒、注水管、排水管和排气管,供气机构包括混合管、混合室和若干供气组件,供气组件包括供气室和供气管,混合室内设有第一电机和第一齿轮,供气管内设有调节组件,调节组件包括第二齿轮、转轴、转盘和供气单元,该基于LICVD法的纳米材料生产设备通过清洁机构对反应室内部进行清洁,使反应室中充满惰性气体,保证了反应环境的清洁,便于纳米材料的生产,不仅如此,通过供气机构向反应室提供特定比例的多种气体,便于各种反应气体充分反应,防止气体浪费,减小生产成本,提高了设备的实用性。 |
